burkert寶德8746型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20001765深度解析

8746型熱式氣體質(zhì)量流量控制器*10nm3/h,NH3,316L基座,G1/4寸,標定壓力2bar,4-20mA

控制器| NH3 | 10,000 nm3 /h | 24v DC |內(nèi)螺紋- G1/4" | 4-20 mA

工作原理

核心原理：

通過測量氣體流動對熱量的傳遞影響，計算質(zhì)量流量。控制器包含兩個溫度傳感器：

上游傳感器：測量氣體未受加熱時的溫度。

下游傳感器：位于加熱元件后，測量氣體吸收熱量后的溫度。

當氣體流動時，加熱元件的熱量被氣體帶走，導致上下游傳感器產(chǎn)生溫差（ΔT）。控制器通過調(diào)整加熱功率維持恒定溫差，加熱功率的變化與氣體質(zhì)量流量成正比。

技術(shù)優(yōu)勢

高精度誤差通常小于1%，重復性優(yōu)異，滿足高精度控制需求

快速響應響應時間幾毫秒內(nèi)，適應快速變化的流量場景

寬量程比量程比可達100:1，覆蓋低流速到大流量需求

無需溫壓補償直接測量質(zhì)量流量，簡化系統(tǒng)復雜度

低流速靈敏對微小流量變化敏感，適用于精密控制

氣體兼容性強可測量單一或混合氣體

應用場景

半導體制造：

用于CVD（化學氣相沉積）、蝕刻、擴散等工藝的氣體流量控制，確保工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率。

環(huán)境監(jiān)測：

稀釋標準氣體，監(jiān)測空氣質(zhì)量，支持環(huán)保評估。

化工與能源：

控制反應釜氣體進料、燃氣爐空氣-燃料配比，優(yōu)化能源效率。

醫(yī)療與實驗室：

提供精確的氣體混合比例，支持生物反應器、氣相色譜儀等設(shè)備。

環(huán)保與新能源：

監(jiān)測煙氣排放、控制清潔能源（如氫氣）的輸送。

未來展望

技術(shù)融合：集成AI算法提升自適應能力，優(yōu)化復雜工況下的控制精度。

材料創(chuàng)新：開發(fā)耐腐蝕、耐高溫的新型傳感器，拓寬應用領(lǐng)域。

綠色制造：推動節(jié)能設(shè)計，降低設(shè)備功耗和碳排放。

burkert寶德8746型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20001765深度解析